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Válvulas do coletor
Válvulas integradas de especialidade Dymatrix® (AVSIV)
Soluções específicas para aplicações projetadas para atender a desafios de projeto exclusivos. Em colaboração com os usuários finais, a Asahi pode integrar qualquer combinação de componentes Dymatrix® em um único corpo de válvula híbrida. Essas válvulas multifuncionais oferecem uma solução compacta, eliminando várias conexões e possíveis pontos de vazamento.
Recursos:
Folha de dados
As aplicações ideais incluem:
CMP, deposição eletroquímica – ECD, fotolitografia, sistemas de fornecimento de produtos químicos, revestimento por rotação, limpeza de bancada úmida
Especificações:
Materiais de construção:
Corpo da válvula molhado (PTFE), atuadores (PFA ou PVDF)
Taxa de fluxo:
Diversos
Configuração de fluxo:
Diversos
Acionamento:
Manual, pneumático, híbrido (multivoltas, push-to-lock)
Tipos de conexão:
Flare, S300, Super Pillar, Tube, Rc, Flowell séries 20 e 60
- Design monolítico compacto
- Eliminar pernas mortas
- Componentes molhados de PTFE e PFA de pureza ultra-alta e resistentes à corrosão
- Totalmente personalizado de acordo com as necessidades específicas da aplicação
- Conexões reduzidas e possíveis pontos de vazamento
- Custos de instalação mais baixos
- Orientação de montagem configurável
- O-Rings: FKM, EPDM, Viflon F, Kalrez®.
- Hardware de aço inoxidável revestido de fluoropolímero