Válvulas integradas de especialidade Dymatrix® (AVSIV)
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Válvulas do coletor

Válvulas integradas de especialidade Dymatrix® (AVSIV)

Soluções específicas para aplicações projetadas para atender a desafios de projeto exclusivos. Em colaboração com os usuários finais, a Asahi pode integrar qualquer combinação de componentes Dymatrix® em um único corpo de válvula híbrida. Essas válvulas multifuncionais oferecem uma solução compacta, eliminando várias conexões e possíveis pontos de vazamento.

Recursos:

Folha de dados

As aplicações ideais incluem:

CMP, deposição eletroquímica – ECD, fotolitografia, sistemas de fornecimento de produtos químicos, revestimento por rotação, limpeza de bancada úmida

Especificações:

Materiais de construção:

Corpo da válvula molhado (PTFE), atuadores (PFA ou PVDF)

Taxa de fluxo:

Diversos

Configuração de fluxo:

Diversos

Acionamento:

Manual, pneumático, híbrido (multivoltas, push-to-lock)

Tipos de conexão:

Flare, S300, Super Pillar, Tube, Rc, Flowell séries 20 e 60

  • Design monolítico compacto
  • Eliminar pernas mortas
  • Componentes molhados de PTFE e PFA de pureza ultra-alta e resistentes à corrosão
  • Totalmente personalizado de acordo com as necessidades específicas da aplicação
  • Conexões reduzidas e possíveis pontos de vazamento
  • Custos de instalação mais baixos
  • Orientação de montagem configurável
  • O-Rings: FKM, EPDM, Viflon F, Kalrez®.
  • Hardware de aço inoxidável revestido de fluoropolímero