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Fiche technique

Les applications idéales sont les suivantes :

CMP, dépôt électrochimique – ECD, photolithographie, systèmes d’administration de produits chimiques, revêtement par centrifugation, nettoyage des bancs humides

Spécifications :

Matériaux de construction :

Corps de vanne en contact avec le fluide (PTFE), actionneurs (PFA ou PVDF)

Débit :

Divers

Configuration du débit :

Divers

Actionnement :

Manuel, pneumatique, hybride (multitour Push-to-lock)

Types de connexion :

Flare, S300, Super Pillar, Tube, Rc, Flowell séries 20 et 60

  • Conception monolithique compacte
  • Éliminez les jambes mortes
  • Composants en contact avec le sol en PTFE et PFA de très haute pureté et résistants à la corrosion
  • Entièrement personnalisé en fonction des besoins spécifiques de l’application
  • Réduction des connexions et des points de fuite possibles
  • Coûts d’installation réduits
  • Orientation de montage configurable
  • Joints toriques : FKM, EPDM, Viflon F, Kalrez®.
  • Quincaillerie en acier inoxydable revêtue de fluoropolymère