Systèmes de tuyauterie thermoplastique dans les usines de fabrication de plaquettes de carbure de silicium

L’une des caractéristiques du traitement des plaquettes de SiC est la température de traitement nettement plus élevée que celle des plaquettes de silicium. Les usines de traitement des plaquettes de SiC peuvent générer 1,5 fois plus de chaleur que les usines de plaquettes de silicium de taille similaire. Outre l’augmentation de la taille des conduites d’eau de refroidissement du processus, la production thermique nécessite des stratégies de gestion thermique robustes pour maintenir des conditions de fonctionnement optimales et la fiabilité de l’équipement.

Les températures de processus plus élevées associées à la fabrication de plaquettes de SiC nécessitent une infrastructure spécialisée au sein des usines.
L’une des considérations essentielles est le matériau utilisé pour les systèmes de tuyauterie destinés à traiter les flux de déchets.
Contrairement aux usines de fabrication de plaquettes de silicium, où des matériaux standard tels que le chlorure de polyvinyle (PVC) peuvent suffire pour de nombreuses conduites de déchets, les usines de SiC doivent utiliser des matériaux capables de résister à des températures plus élevées et à une exposition chimique.
L’adoption de thermoplastiques avancés tels que le polyfluorure de vinylidène (PVDF) ou l’éthylène chlorotrifluoroéthylène (ECTFE) doit faire l’objet d’une attention particulière.
Ces deux matériaux offrent une résistance supérieure aux températures élevées et aux produits chimiques corrosifs.
Ces matériaux garantissent l’intégrité et la longévité de l’infrastructure de tuyauterie dans les conditions exigeantes de ces processus.

En outre, les températures élevées du processus de traitement des plaquettes de SiC nécessitent une approche réfléchie des caractéristiques de dilatation thermique des matériaux thermoplastiques.
L’expansion et la contraction significatives des thermoplastiques sous l’effet des variations de température soulignent l’importance d’incorporer des boucles d’expansion dans la conception de la tuyauterie.
Les boucles de dilatation servent d’éléments flexibles au sein du système de tuyauterie, en s’adaptant à la dilatation thermique sans imposer de contraintes excessives aux tuyaux et aux raccordements.
En intégrant des boucles de dilatation de manière stratégique dans la tuyauterie, les propriétaires d’usines de semi-conducteurs peuvent réduire les risques d’endommagement des tuyaux, de fuites et de défaillances du système causés par la dilatation thermique, garantissant ainsi la performance et la durabilité à long terme de l’infrastructure.

Le traitement des plaquettes de SiC représente une frontière critique dans la technologie des semi-conducteurs.
Les défis uniques posés par les températures de traitement plus élevées nécessitent des solutions d’infrastructure spécialisées, en particulier dans les systèmes de tuyauterie où des matériaux tels que le PVDF et l’ECTFE excellent.
L’équipe d’ingénieurs d’Asahi/America est en mesure de relever ces défis et de travailler avec les installations et les ingénieurs concepteurs afin d’optimiser les performances, la fiabilité et la longévité des systèmes.

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